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J-GLOBAL ID：200902265682117120   整理番号：06A0865362

遺伝的アルゴリズムと勾配法の組合せによる物理モデルの自動合わせ込み

Automatic Calibration of Physical Models Utilizing Genetic Algorithms and Gradient Methods

著者 (4件)： 村川正宏 (産業技術総合研) ,  小田嘉則 (半導体先端テクノロジーズ) ,  樋口哲也 (産業技術総合研) ,  西謙二 (半導体先端テクノロジーズ)
資料名： 情報処理学会論文誌  (IPSJ Journal)
巻： 47  号： SIG14(TOM15)  ページ： 161-170  発行年： 2006年10月15日 
JST資料番号： Z0778A  ISSN： 0387-5806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,遺伝的アルゴリズムを用いた物理モデルの自動合わせ...

シソーラス用語： *遺伝的アルゴリズム ,...
準シソーラス用語： TCAD ,...

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分類 (3件)： 人工知能  (JE08000Z) ,  数値計算  (JE02000J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• ITRS: ITRS roadmap 2001, p. 432(2001).
• Park, C., Klein, K. M. and Tasch, A. F.: Efficient Modeling Parameter Extraction for Dual Pearson Approach to Simulation of Implanted Impurity Profiles in Silicon, Solid-State Electronics, Vol.33, No.6, pp. 645-650(1990).
• Press, W. H., Teukolsky, S. A., Vetterling, W. T. and Flannery, B. P.: Numerical Recipes in C, p. 542, Cambridge University Press (1988).
• Goldberg, D. E.: Genetic Algorithms in Search, Optimization, and Machine Learning, Addison Wesley (1989).
• Holland, J. H.: Adaptation in Natural and Artificial Systems, The University of Michigan Press (1975).

タイトルに関連する用語 (4件)： 遺伝的アルゴリズム ,  勾配法 ,  組合せ ,  物理モデル