文献

J-GLOBAL ID：200902265797280610   整理番号：08A0876898

半導体製造用IH型線形加速器の開発研究-APF-IH型線形加速器空胴のデザインとシミュレーション

著者 (5件)： LU Liang (東京工大 原子炉工研) ,  服部俊幸 (東京工大 原子炉工研) ,  林崎規託 (東京工大 原子炉工研) ,  伊藤卓 (東京工大 原子炉工研) ,  石橋拓弥 (東京工大 原子炉工研)
資料名： 日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)
巻： 2008  ページ： I36  発行年： 2008年08月21日 
JST資料番号： S0818B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： IH型線形加速器では,TE111モードで励起された加速軸方向磁場によりステム-容器側壁に沿って誘導電流が流れるため,ドリフトチューブ間に電位差が生じ電場が発生,粒子を加速する事ができる。本研究では半導体製造用イオン注入機の設計開発を目的として,加速空胴のデザインと空胴電場分布のシミュレーションを行った。ビームの収束はAPF収束法を採用した。(著者抄録)

シソーラス用語： *線形加速器 ,  開発 ,  TEモード ,  磁場 ,  軸方向 ,  電流 ,  ドリフトチューブ ,  電圧 ,  電場 ,  加速 ,  イオン注入 ,  *加速空洞 ,  設計 ,  シミュレーション ,  ビーム集束
準シソーラス用語： 電位差 ,  誘導電流

分類 (1件)： 線形加速器  (BE02030I)

タイトルに関連する用語 (9件)： 半導体製造 ,  IH ,  線形加速器 ,  開発 ,  研究 ,  APF ,  空胴 ,  デザイン ,  シミュレーション