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J-GLOBAL ID：200902266335270276   整理番号：08A0318694

ダイナミックマスクレスリソグラフィー技術によるフォトレジストの3次元光重合反応

著者 (5件)： 高畠聡章 (北大 電子科研) ,  上野貢生 (北大 電子科研) ,  ヨードカジス サウリウス (北大 電子科研) ,  三澤弘明 (北大 電子科研) ,  日野敦司 (日東電工)
資料名： 日本化学会北海道支部研究発表会講演要旨集  (化学系学協会北海道支部研究発表会講演要旨集)
巻： 2008  号： 冬季  ページ： 91  発行年： 2008年01月18日 
JST資料番号： L1855B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： フォトリソグラフィー ,  *フォトレジスト ,  光重合 ,  三次元 ,  *パターン形成
準シソーラス用語： パターンニング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： フォトレジスト ,  3次元 ,  光重合反応