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J-GLOBAL ID：200902266629775384   整理番号：08A0417172

スパッタ法によって生成する多孔質アルミニウム膜の形態に及ぼす雰囲気ガスの影響

著者 (6件)： 藤井隆志 (北大 大学院) ,  青木芳尚 (北大 大学院) ,  伏見公志 (北大 大学院) ,  幅崎浩樹 (北大 大学院) ,  牧野猛 (日本ケミコン) ,  小野昭二 (日本ケミコン)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 117th  ページ： 270  発行年： 2008年02月29日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アルミニウム ,  スパッタリング ,  *金属薄膜 ,  *多孔質体 ,  雰囲気 ,  表面積

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ法 ,  多孔質 ,  アルミニウム膜 ,  形態 ,  雰囲気ガス