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J-GLOBAL ID：200902267591497306   整理番号：03A0205729

エネルギーフィルター型RHEED-AESによる表面研究

Surface Study by Energy-Filtered RHEED-AES.

著者 (1件)： 堀尾吉み (大同工大)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 24  号： 3  ページ： 145-152  発行年： 2003年03月10日 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RHEEDは表面構造の研究や薄膜成長のモニタリングを行うのに...

シソーラス用語： *RHEED ,...

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分類 (2件)： 電子回折法  (BK01030T) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

引用文献 (37件)：

• 1) S. Miyake: Sci. Pap. Inst. Phys. Chem. Res. Tokyo 26, 216 (1935).
• 2) J.F. Menadue: Acta Cryst. A 28, 1 (1972).
• 3) S. Ino: Jpn. J. Appl. Phys. 16, 891 (1977).
• 4) 本庄五郎:真空 23, 112 (1980).
• 5) 八木克道,谷城康眞,高柳邦夫:応用物理 55, 1036 (1986).

タイトルに関連する用語 (4件)： エネルギーフィルター ,  RHEED ,  AES ,  研究