抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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圧電セラミックス薄板と金属薄板を貼り合せた圧電振動板を用いた振動型接触プローブにより,寸法測定と三次元形状測定を行うシステムの測定高速化を論じ,システムの開発を述べた。接触プローブの圧電振動板に固着され,振動する針を対象物の表面上を移動させて接触させ,接触位置を特定した。これにより対象物表面の複数の特徴点を移動させて得られた各特徴点位置の測定データから,対象物の三次元形状を測定するシステムを述べた。寸法演算に対して,最小二乗法による寸法演算アルゴリズムを使用した。寸法測定実験結果から,1軸における加速度およそ9.8m/s
2でプローブを駆動可能であり,高速化が可能であると述べた。