文献

J-GLOBAL ID：200902268052023275   整理番号：07A1045555

決定木を利用した欠陥分類ルールの自動生成技術

Automatic Generation Technique of Defect Classification Rules Using Decision Tree

著者 (3件)： 渋谷久恵 (日立 生産技研) ,  岡部隆史 (日立 生産技研) ,  中川泰夫 (日立 研究開発本部)
資料名： 画像電子学会誌  (Journal of the IIEEJ)
巻： 36  号： 5  ページ： 731-737  発行年： 2007年09月25日 
JST資料番号： S0815A  ISSN： 0285-9831  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体ウエハの外観検査では実時間欠陥分類が重要な課題である。...

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A1045555&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=S0815A") }}

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (16件)：

• International Technology Roadmap for Semiconductors, 2004 Update. http://public.itrs.net/. 2004
• 渡辺健二. 65nmノード対応高性能明視野光学式ウェーハ外観検査装置「HA-3000形」. 日立評論. 2004, 2004年7月号, 27-30
• PINTO, R. H. Real-Time Classification Streamlines Yield Management Process. Yield Management Solutions Autumn 1999. 1999, 10-15
• SKUMANICH, A. Advanced Interconnect Process Development Utilizing Wafer Inspection with "On-The-Fly" Automatic Defect Classification. IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 1999. 1999
• CHOU, P. B. Automatic defect classification for semiconductor manufactureing. Machine Vision and Applications. 1997, 9, 201-214

タイトルに関連する用語 (4件)： 決定木 ,  欠陥分類 ,  ルール ,  自動生成