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J-GLOBAL ID：200902269035287010   整理番号：07A0041004

反応周波数マグネトロンスパッタリングにより堆積したAlドープZnO薄膜 H2誘起特性変化

Al-doped ZnO thin films deposited by reactive frequency magnetron sputtering: H2-induced property changes
著者 (9件)：
LIU Weifeng

LIU Weifeng について

(State Key Lab. for Materials modification by laser, ion, electron beams, Dep. of Physics, Dalian Univ. of Technol. ...)

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DU Guotong

DU Guotong について

(State Key Lab. for Materials modification by laser, ion, electron beams, Dep. of Physics, Dalian Univ. of Technol. ...)

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DU Guotong

DU Guotong について

(State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ...)

State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ... について

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SUN Yanfeng

SUN Yanfeng について

(State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ...)

State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ... について

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XU Yibin

XU Yibin について

(State Key Lab. for Materials modification by laser, ion, electron beams, Dep. of Physics, Dalian Univ. of Technol. ...)

State Key Lab. for Materials modification by laser, ion, electron beams, Dep. of Physics, Dalian Univ. of Technol. ... について

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YANG Tianpeng

YANG Tianpeng について

(State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ...)

State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ... について

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WANG Xinsheng

WANG Xinsheng について

(State Key Lab. for Materials modification by laser, ion, electron beams, Dep. of Physics, Dalian Univ. of Technol. ...)

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CHANG Yuchun

CHANG Yuchun について

(State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ...)

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QIU Fabin

QIU Fabin について

(State Key Lab. on Integrated Optoelectronics, Coll. of Electronic Sci. and Engineering, Jinlin Univ., Changchun ...)

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資料名：
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

Thin Solid Films について


巻： 515  号： 5  ページ： 3057-3060  発行年： 2007年01月22日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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AlドープZnO(AZO)透明導電薄膜を基板温度200°C,異...
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分類 (3件)：
分類
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酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  光物性一般 
(BM08010A)

光物性一般 について

,  半導体結晶の電気伝導 
(BM03043X)

半導体結晶の電気伝導 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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マグネトロンスパッタリング

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堆積

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AlドープZnO

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薄膜

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H2

H2 について

, 
誘起

誘起 について


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