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J-GLOBAL ID：200902269137445094   整理番号：05A0085641

基層上の圧電薄膜の間の界面の自由端における剥離の実験的および理論的研究

Experimental and theoretical investigations of delamination at free edge of interface between piezoelectric thin films on a substrate

著者 (6件)： SHANG F (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KITAMURA T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  HIRAKATA H (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KANNO I (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KOTERA H (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TERADA K (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： International Journal of Solids and Structures  (International Journal of Solids and Structures)
巻： 42  号： 5/6  ページ： 1729-1741  発行年： 2004年12月16日 
JST資料番号： B0700A  ISSN： 0020-7683  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サンドイッチ形片持梁試験法を用いて,シリコン基材上に蒸着した...

シソーラス用語： *圧電材料 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 基層 ,  圧電薄膜 ,  界面 ,  自由端 ,  実験 ,  理論 ,  研究