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J-GLOBAL ID：200902269207820769   整理番号：09A0081698

モアレ干渉縞パターンを用いたインプリントリソグラフィのアライメントの測定法

Alignment measurement method for imprint lithography using moire fringe pattern

著者 (5件)： SHAO Jinyou (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  LIU Hongzhong (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  DING Yucheng (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  WANG Li (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  LU Binghen (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 47  号： 11  ページ： 113604.1-113604.7  発行年： 2008年11月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インプリントリソグラフィは,フォトリソグラフィに比べて安価な方法であるが,層間アライメントを正確に行なう必要がある。正確なアライメントには,正確な測定法が不可欠である。そこで,高精度なアライメント測定法について検討した。モアレ干渉縞パターンを用いたアライメント測定法を提案した。この測定法の原理を説明し,これを実験で検証した。相対回転位置決めと相対直線変位測定を利用したが,角度変位と直線変位でのモアレ縞の倍率効果を完全に活用し,アライメントの精度を高めた。モアレ縞の傾斜を測定することで,テンプレートとウエハ間の相対的な回転を決定した。また,モアレ縞の空間位相シフトを評価して,相対的な直線変位を測定した。この結果,ミスアラインメントの測定精度は数ナノメートル程度となった。

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  パターン形成 ,  押付成形 ,  *モアレ ,  干渉縞 ,  モードパターン ,  アラインメント ,  光学的測定 ,  *変位測定 ,  位相シフト ,  Fourier変換 ,  位置決め ,  測定精度
準シソーラス用語： *インプリントリソグラフィー

分類 (2件)： その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： モアレ ,  干渉縞 ,  インプリントリソグラフィ ,  アライメント ,  測定法