Univ. Maryland, Maryland について
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Univ. Maryland, Maryland について
OEHRLEIN G S について
Univ. Maryland, Maryland について
National Inst. Standards and Technol., Maryland について
VASENKOV A V について
Univ. Illinois, Illinois について
KUSHNER M J について
Univ. Illinois, Illinois について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
脂肪族フッ素化合物 について
圧力依存性 について
固体デバイス製造技術一般 について
プラズマ応用 について
オクタフルオロシクロブタン について
誘導結合プラズマ について
SiO2 について
エッチング について
Ar について
磁場閉込め について
プラズマ について