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J-GLOBAL ID：200902269634953702   整理番号：06A0913759

免震された精密生産施設のためのピエゾアクチュエータを用いた総合的アクティブ微振動制御システム

Comprehensive Active Microvibration Control Systems Using Piezoelectric Actuators for Base-Isolated Precision Manufacturing Facilities

著者 (6件)： 嶋崎守 (東大 生産技研) ,  藤田隆史 (東大 生産技研) ,  橋本嘉之 (竹中工務店 竹中技研) ,  吉岡宏和 (竹中工務店 竹中技研) ,  北原隆 (日立プラントテクノロジー 松戸研) ,  小川智浩 (住友重機械工業 技術開発セ)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 72  号： 722  ページ： 3123-3130  発行年： 2006年10月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体工場や液晶パネル工場などの精密生産施設では,微振動の低...

シソーラス用語： 精密機械 ,...

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分類 (2件)： 振動伝搬  (BB02040K) ,  建築物の耐震,免震,制震,防振  (RB01035P)

引用文献 (9件)：

• FUJITA, T. Recent Technologies for Microvibration Control. Optical Alliance. 1993, 4, 8, 19-23
• FUJITA, T. Active Microvibration Control of Precision Manufacturing Facilities with Smart Structure Using Piezoelectric Actuator. Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series C. 2000, 66, 647, 2122-2127
• FUJITA, T. A Three Dimensional Isolation Floor for Earthquake and Ambient Micro-Vibration Using Multi-Stage Rubber Bearings (1st Report, Tests for the Performance of the Floor by a Large-Scale Experimental Model). Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series C. 1987, 53, 496, 2521-2527
• Building Research Institute. Tentative Technical Guidelines for Generation Method of Design Earthquake Motions. 1992, 67-68
• SHIMAZAKI, M. Experimental Study of Piezoelectric Actuator for Large-Scale Smart Structure-2 nd Report, Actuator Characteristics of 25×25×36 Piezoelectric Actuator of Stack Type-. SEISAN KENKYU (Bimonthly Journal of Institute of Industrial Science, The University of Tokyo). 1996, 48, 9, 449-452

タイトルに関連する用語 (6件)： 免震 ,  精密 ,  施設 ,  ピエゾアクチュエータ ,  微振動 ,  制御システム