薄膜SiGe-on-Insulator技術を用いた高性能歪SOI CMOS素子

文献

J-GLOBAL ID：200902269767101156 整理番号：03A0519532

High-Performance Strained-SOI CMOS Devices Using Thin Film SiGe-on-Insulator Technology

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著者 (5件)：

MIZUNO T

MIZUNO T について

(Assoc. Super-Advanced Electronics, Technol. (ASET), Kawasaki, JPN)