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J-GLOBAL ID：200902270247421083   整理番号：08A0830370

ドライフィルムフォトレジストを使用したイオン性高分子-金属複合材料中のパターン形成した電極の形成

Formation of Patterned Electrode in Ionic Polymer-Metal Composite using Dry Film Photoresist

著者 (4件)： KIKUCHI Kunitomo (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  TSUCHITANI Shigeki (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  MIWA Masafumi (Univ. Tokushima, Tokushima, JPN) ,  ASAKA Kinji (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Osaka, JPN)
資料名： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 3  号： 4  ページ： 452-454  発行年： 2008年07月 
JST資料番号： W1854A  ISSN： 1931-4973  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオン性高分子-金属複合材料(IPMC)は,一種の高分子アクチュエータでフレキシブル性,軽量,低駆動電圧などの特徴を持ち,ロボットソフトアクチュエータとしての応用の可能性を持っている。本稿では,高分子フィルム(Nafion 117)上にIPMC電極を形成する方法について報告した。高分子フィルム上にドライフィルムレジストを貼り付け,フォトリソグラフィーによりパターン形成を行う。その上から無電解金めっきを行い,リフトオフ法により60μm幅のパターンを得た。この電極のシート抵抗は30Ω/□で,これは従来の量産性の無い無電解めっきと熱的パターン形成法で得たものと同等であった。

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  ロボット構成要素 ,  柔軟性 ,  フォトレジスト ,  高分子膜 ,  無電解めっき ,  金めっき ,  *微細加工 ,  シート抵抗 ,  *パターン形成 ,  ハイブリッド複合材料 ,  導電性高分子 ,  イオン性高分子-金属複合材料 ,  *ソフトアクチュエータ
準シソーラス用語： ドライフィルムフォトレジスト ,  *リフトオフ法 ,  高分子フィルム

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (4件)：

• FUJIWARA, N. Preparation of gold-solid polymer electrolyte composites as electric stimuli-responsive materials. Chemistry of Materials. 2000, 12, 6, 1750-1754
• NAKABO, Y. A multi-DOF robot manipulator with a patterned artificial muscle. Proceedings of the 2nd Conference on Artificial Muscle, Osaka, Japan, 2004. 2004
• OH, I-K. Multiple electrode patterning of ionic polymer metal composite actuators. Smart Structure and Materials 2006: Electro Active polymer Actuators and Devices (EAPAD). 2006, 616828
• DuPont. Product information sheet (Nafion^【○!R】Membranes, Extrusion-Cast). http://www2.dupont.com/Fuel_Cells/en_US/assets/downloads/dfc101.pdf. 2006

タイトルに関連する用語 (3件)： ドライフィルムフォトレジスト ,  イオン性高分子-金属複合材料 ,  パターン形成