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J-GLOBAL ID：200902270755820953   整理番号：08A0755667

1.55μmで動作するケイ素互換の共振空洞増強光検出器

A silicon compatible resonant cavity enhanced photodetector working at 1.55 μm

著者 (4件)： CASALINO M (Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (IMM), Consiglio Nazionale delle Ricerche, Napoli, ITA) ,  SIRLETO L (Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (IMM), Consiglio Nazionale delle Ricerche, Napoli, ITA) ,  MORETTI L (Universita degli studi ‘Mediterranea’ di Reggio Calabria, Reggio Calabria, ITA) ,  RENDINA I (Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (IMM), Consiglio Nazionale delle Ricerche, Napoli, ITA)
資料名： Semiconductor Science and Technology  (Semiconductor Science and Technology)
巻： 23  号： 7  ページ： 075001,1-7  発行年： 2008年07月 
JST資料番号： E0503B  ISSN： 0268-1242  CODEN： SSTEET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1.55μmで動作する新しい光検出器を設計し,ケイ素で完全に実現した。共振空洞増強(RCE)構造を用い,内部発光効果に基づくケイ素光検出器と組み合せた。共振空洞構造の採用により,量子効率の大幅な増大を実現した。Schottky障壁金属としては,金,銀,および銅を調べた。銅の場合に,最小のポテンシアル障壁高さになり,0.2%という最高の量子効率が得られたが,暗電流も最高になった。逆方向印加電圧の増加とともに,量子効率も暗電流も増加し,トレードオフの関係にあることが分かった。一方,キャリア走行時間で制限された3dB帯域幅としては,すべてのデバイスについて,100GHzのレベルの値が得られた。

シソーラス用語： *ケイ素 ,  空洞 ,  共振 ,  *光検出器 ,  量子効率 ,  Schottky障壁 ,  暗電流 ,  帯域幅 ,  *赤外線

分類 (1件)： 光導電素子  (NC03083X)

タイトルに関連する用語 (5件)： ケイ素 ,  共振 ,  空洞 ,  増強 ,  光検出器