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J-GLOBAL ID：200902270901455073   整理番号：05A0586479

低い-Kと低い-CTEポリイミドの環境に優しいポジティブ-とネガティブトーン光パターニング系

Environmentally Friendly Positive- and Negative-tone Photo-patterning Systems of Low-K and Low-CTE Polyimides

著者 (2件)： HASEGAWA Masatoshi (Toho Univ., Chiba, JPN) ,  TOMINAGA Azumi (Toho Univ., Chiba, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 18  号： 2  ページ： 307-312  発行年： 2005年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低い-Kと低い-CTEポリイミド,CBDA/TFMB(CBD...

シソーラス用語： *熱膨張係数 ,...
準シソーラス用語： 橋架け

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分類 (2件)： 共重合  (CG04030D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (3件)： 1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸1,2:3,4-ジ無水物 ,  2,2′-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン ,  NT-200

引用文献 (13件)：

• 1. The Latest Polyimides: Fundamentals and Applications, Y. Imai and R. Yokota, Eds., NTS, Tokyo, 2002. (in Japanese)
• 2. S. Numata, S. Oohara, K. Fujisaki, K. Imaizumi and N. Kinjyo, J. Appl. Polym. Sci. 31 (1986) 101.
• 3. S. Numata, K. Fujisaki and N. Kinjyo, Polymer 28 (1987) 2282.
• 4. M. Hasegawa, T. Matano, Y. Shindo and T. Sugimura, Macromolecules 29 (1996) 7897.
• 5. J. C. Coburn and M. T. Pottiger, Polyimides: Fundamentals and Applications, M. K. Ghosh and K. L. Mittal, Eds., Marcel Dekker, New York, 1996, p 207

タイトルに関連する用語 (3件)： ポリイミド ,  環境 ,  パターニング