文献

J-GLOBAL ID：200902270961786664   整理番号：06A0510612

反応性マグネトロンスパッタリングにより蒸着した酸窒化タンタル薄膜の光学的および機械的特性

Optical and mechanical properties of tantalum oxynitride thin films deposited by reactive magnetron sputtering

著者 (3件)： BANAKH O. (Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Avenue de l’Hotel-de-Ville, 7, CH-2400 Le Locle, CHE) ,  STEINMANN P.-a. (Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Avenue de l’Hotel-de-Ville, 7, CH-2400 Le Locle, CHE) ,  DUMITRESCU-BUFORN L. (Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Avenue de l’Hotel-de-Ville, 7, CH-2400 Le Locle, CHE)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 513  号： 1-2  ページ： 136-141  発行年： 2006年08月14日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： O₂/N₂/Ar...

シソーラス用語： *タンタル化合物 ,...
準シソーラス用語： *ナノ硬さ ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0510612&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 反応性マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  酸窒化タンタル ,  薄膜 ,  光学 ,  機械的特性