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J-GLOBAL ID:200902271126630900   整理番号:06A0097801

蛍光色素を含む高分子膜を用いた電子ビーム描画による小蛍光目盛パターンの製作

Fabrication of Small Fluorescence Scale Patterns by Electron Beam Drawing Using Polymer Film Containing Fluorescence Dye
著者 (4件):
資料名:
巻: 13  号:ページ: 24-28  発行年: 2006年02月01日 
JST資料番号: L2272A  ISSN: 1340-6000  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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蛍光顕微鏡用の分解能評価チャートと目盛の製作について報告した...
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分類 (3件):
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光学的測定とその装置一般  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  有機化合物の薄膜 
引用文献 (14件):
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