文献

J-GLOBAL ID：200902272223921630   整理番号：09A0730396

除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化

Improvement of Compensation for Accelerometer and High Bandwidth for Isolation Device

著者 (2件)： 高橋正人 (ニコン) ,  涌井伸二 (東京農工大 大学院)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 75  号： 7  ページ： 853-858  発行年： 2009年07月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,露光装置用に開発したアクティブ除振台の水平方向に搭載する加速度センサの傾斜による重力成分を補正することにより,同除振台で重要な役割をする速度ループの応答をあげ,外乱に対するロバスト性を向上させることを目的とし,システムに十分なダンピング特性を確保し,安定したアクティブ除振台の性能を達成した。これにより得た主な知見を次に示した。1)半導体露光装置の除振台には振動検出センサとして加速度センサを搭載しているが,水平方向の加速度センサには傾斜重力成分がのり,これが除振台の性能を不安定にし性能を悪化させるため,本体の位置をモニタしている位置センサで除振台本体の傾斜を計測し,加速度センサの傾斜重力成分を補正したこと,2)設置床は,z方向の膜振動が支配的であり,床の回転成分は無視でき,装置のベース部も床と一体で運動しているため,本体の傾斜角は装置べ一ス基準で計測でき,この情報で水平加速度センサの傾斜重力成分のキャンセルができること,3)水平加速度センサの傾斜重力成分のキャンセルにより,除振台のダンピング性能確保に十分な速度周波数応答性能を満足できること。

シソーラス用語： 露光 ,  防振 ,  半導体プロセス ,  *防振装置 ,  *速度センサ ,  リニアモータ ,  *重力補正 ,  アクティブ制御 ,  減衰特性 ,  振動モード ,  ロバスト性 ,  周波数応答 ,  *応答特性 ,  性能評価 ,  *露光装置 ,  *加速度センサ
準シソーラス用語： ボイスコイルモータ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  振動伝搬  (BB02040K)

引用文献 (6件)：

• 1) 山本修一:アクティブ除振技術における加速度計の役割と特性,精密工学会誌, 73, 4 (2007) 422.
• 2) 涌井伸二:精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割,精密工学会誌, 73, 4 (2007) 405.
• 3) 飯田一嘉,大橋心耳,岡田健,麦倉喬次:現場実務者と設計者のための実用騒音・振動制御ハンドブック,エヌ・ティー・エス (2000) 840.
• 4) S.Wakui: Incline Compensation Control using an Air-spring Type Active Isolated Apparatus, Precision Engineering, 27, 2 (2003) 170.
• 5) 株式会社ニコン(高橋正人):除振装置,除振方法及び露光装置,特許3807516(2006).

タイトルに関連する用語 (3件)： 除振装置 ,  加速度センサ ,  高帯域