マイクロ波プラズマ化学気相合成法による燃料電池用固体電解質薄膜の作製条件の検討

文献

J-GLOBAL ID：200902272573626364 整理番号：03A0329383

Property of a Thin Zirconia Electrolyte Film Using Solid Oxide Fuel Cell Grown by ECR Plasma CVD Method

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巻： 46 号： 3 ページ： 310-313 発行年： 2003年03月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

固体燃料電池用のジルコニア電解質薄膜を多孔質Al<sub>2...

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酸化物薄膜 , 燃料電池

引用文献 (3件)：

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