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J-GLOBAL ID：200902272779236082   整理番号：07A1013544

電子ビーム誘起堆積Pt層の電気伝導特性:(I)ビーム滞留時間依存性

著者 (6件)： 中山貴仁 (大阪大 大学院極限量子科学研究セ) ,  竹内貴洋 (大阪大 大学院極限量子科学研究セ) ,  村上勝久 (大阪大 大学院極限量子科学研究セ) ,  阿保智 (大阪大 大学院極限量子科学研究セ) ,  若家冨士男 (大阪大 大学院極限量子科学研究セ) ,  高井幹夫 (大阪大 大学院極限量子科学研究セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 2  ページ： 750  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子ビーム蒸着 ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子ビーム誘起堆積 ,  Pt ,  電気伝導特性 ,  ビーム ,  滞留 ,  時間依存性