紫外線照射によるハイブリッドチタニア膜の微細パターニング

SEGAWA H; ADACHI S; ARAI Y; YOSHIDA K

文献

J-GLOBAL ID：200902273258358617 整理番号：03A0403980

紫外線照射によるハイブリッドチタニア膜の微細パターニング

Fine Patterning of Hybrid Titania Films by Ultraviolet Irradiation

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資料名：
巻： 86 号： 5 ページ： 761-764 発行年： 2003年05月
JST資料番号： C0253A ISSN： 0002-7820 CODEN： JACTAW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

パターン膜をつくるために,チタンアルコキシド無機-有機ハイブ...

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酸化物薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

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