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J-GLOBAL ID：200902273464930335   整理番号：04A0108718

センサ/アクチュエータMEMSにおけるパッケージング技術

著者 (3件)： 政井琢 (オムロン 先端デバイス研) ,  佐々木昌 (オムロン 先端デバイス研) ,  今仲行一 (オムロン 先端デバイス研)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 124  号： 2  ページ： 43-48  発行年： 2004年02月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 静電容量型圧力マイクロセンサ及び熱型フローマイクロセンサ,静...

シソーラス用語： *圧力センサ ,...
準シソーラス用語： 高周波スイッチ

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (10件)：

• (1) 独立行政法人工業所有権総合情報館HP http://www.ryutu.ncipi.go.jp/chart/dennki2/frame.htm
• (2) 木村·ほか:「超小型血圧計用圧力センサの開発」,“Development of Pressure Sensor for Blood Pressure Monitors”, OMRON TECHNICS 138, Vol. 41, No. 2, pp. 138-143 (2001)
• (3) 佐々木·ほか:「気体用熱式半導体フローセンサの開発」,“Silicon Thermal Sensor for Measurement of Airflow Velocity and Directions”, OMRON TECHNICS 138, Vol. 41, No. 2, pp. 144-149 (2001)
• (4) 川田·ほか:「流量計測ハンドブック」,日刊工業新聞社,pp. 19-23 (1997)
• (5) Li Qiu, and et al. : “A MICROSENSOR WITH INTEGRATED HEAT SINK AND FLOW GUIDE FOR GAS FLOW SENSING APPLICATIONS”, Transducers ’95 Eurosensors IX, 130-C2, pp. 520-523, (1995)

タイトルに関連する用語 (3件)： アクチュエータ ,  MEMS ,  パッケージング技術