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J-GLOBAL ID:200902273860175167   整理番号:05A0488777

微細立体リソグラフィーで作製した微小片持梁のYoung率制御

Young’s Module Control of the Micro Cantilever made by Micro-Stereolithography
著者 (6件):
資料名:
巻: 5719  ページ: 6-13  発行年: 2005年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 

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