微細立体リソグラフィーで作製した微小片持梁のYoung率制御

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J-GLOBAL ID：200902273860175167 整理番号：05A0488777

Young’s Module Control of the Micro Cantilever made by Micro-Stereolithography

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資料名：
巻： 5719 ページ： 6-13 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

微細立体リソグラフィー(μSL)で作製した微小片持梁のYou...

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固体デバイス製造技術一般

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