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J-GLOBAL ID:200902274545567851   整理番号:04A0800638

CMOS集積化のhigh-kゲートスタックとの問題

CMOS Integration Issues with High-K Gate Stack
著者 (1件):
資料名:
巻: 11th  ページ: 17-20  発行年: 2004年 
JST資料番号: W1259A  ISSN: 1946-1542  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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分類 (2件):
分類
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半導体集積回路  ,  絶縁材料 
タイトルに関連する用語 (3件):
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