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J-GLOBAL ID：200902275289772821   整理番号：05A0978598

透過電子顕微鏡法の最前線とセラミックス FIB-マイクロサンプリングとArイオンミリングを併用した高分解能観察試料作製技術の開発

Development of TEM Specimen Preparation for High Resolution Imaging Using FIB Micro-sampling together with Ar Ion Milling

著者 (3件)： 加藤丈晴 (ファインセラミックスセ) ,  佐々木宏和 (ファインセラミックスセ) ,  平山司 (ファインセラミックスセ)
資料名： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
巻： 40  号： 11  ページ： 937-942  発行年： 2005年11月01日 
JST資料番号： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム(FIB)加工法とArイオンミリング(AIM...

シソーラス用語： *セラミック ,...

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分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (37件)：

• KIRK, E. C. G. Inst. Phys. Conf. Ser. 1989, 100, 501-506
• KURODA, K. Thin Solid films. 1998, 319, 92-96
• KATO, T. Physica C. 2002, 379-381, 1028-1032
• KATO, T. J. Electron Microsco. 2004, 53, 501-504
• MUCHA, H. J. Electron Microsco. 2005, 54, 43-49

タイトルに関連する用語 (11件)： 透過電子顕微鏡 ,  セラミックス ,  FIB ,  サンプリング ,  Arイオン ,  ミリング ,  併用 ,  高分解能 ,  観察 ,  試料作製 ,  開発