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J-GLOBAL ID：200902275464450476   整理番号：09A0157606

エアロゾルデポジションから得られた金属ベースのマイクロ光学スキャナーのレーザーアニール

Laser-Anneal of Metal-based Micro Optical Scanner Derived by Aerosol Deposition

著者 (6件)： BABA So (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  PARK Jae-Hyuk (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  SATO Harumichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  NAKANO Shizuka (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  ASHIDA Kiwamu (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  AKEDO Jun (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 388  ページ： 195-198  発行年： 2009年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電アクチュエーター膜はエアロゾルデポジション(AD)法により比較的容易に作製することが可能であるが,その後のアニールを必要とする。本論文では,ステンレス基板上にPZT膜をAD堆積させ,作製したマイクロ光学スキャナーの炭酸ガスレーザ照射によるアニール効果を調べた。レーザ照射後もステンレス基板およびスキャナーのフレームは金属光沢が維持された。600°Cで1分間アニールを行った場合,その走査角度として30°が得られ,この値は600°C,10分間電気炉中でアニールした時の値と同等であることを示した。

シソーラス用語： *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *セラミック膜 ,  基板 ,  ステンレス鋼 ,  蒸着 ,  エアロゾル ,  薄膜成長 ,  アクチュエータ ,  圧電材料 ,  *レーザ照射 ,  焼なまし ,  走査装置 ,  *光走査 ,  角度 ,  圧電アクチュエータ
準シソーラス用語： AD法 ,  *PZT【鉛化合物】 ,  *アニール ,  *エアロゾルデポジション法 ,  *スキャナ ,  微小デバイス

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (4件)： エアロゾルデポジション ,  マイクロ ,  光学スキャナー ,  レーザーアニール