文献

J-GLOBAL ID：200902275768632201   整理番号：09A0735588

重合体検出層による水晶振動子微量天秤法を用いた活性酸素モニタ

Active Oxygen Monitor Using Quartz Crystal Microbalance Method with Polymer Detection Layers

著者 (6件)： MATSUMOTO Hiroyuki (Iwasaki Electric Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  MATSUOKA Mikihiko (Iwasaki Electric Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  IWASAKI Tatsuyuki (Iwasaki Electric Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  KINOSHITA Shinobu (Iwasaki Electric Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  IWAMORI Satoru (Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN) ,  NODA Kazutoshi (National Inst. of Advanced Inst. of Standard and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 22  号： 3  ページ： 279-284  発行年： 2009年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 物理的析出方法で調製した各種重合体薄膜水晶振動子微量天秤(QCM)センサに基づく新規試行を実施し,表面処理工程下で発生する活性酸素のための定量化モニターを実現させた。誘導結合酸素プラズマ下での活性酸素,特に原子状酸素ラジカルは,ポリテトラフルオロエチレン(PTFE),ポリイミド,および炭素コーティングQCMを使用することでモニターに成功した。またこの研究では,酸素プラズマの光学発光分光および原子状酸素ラジカル分布について,プロセス室中で数値シミュレーションを使用して議論した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *水晶振動子 ,  微量天秤 ,  *活性酸素 ,  監視装置 ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  ポリイミド ,  ラジカル ,  *数値解析 ,  シミュレーション ,  発光分光法 ,  定量分析 ,  表面処理 ,  高分子薄膜

分類 (2件)： 高分子の分解,劣化  (CG03010A) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

引用文献 (21件)：

• K. Noda, R. Naganawa, Y. Kanekiyo, and H.Tao, Chemistry Letters.32(2003)1128-1129.
• H. Matsumoto, M. Matsuoka, and K. Noda, Proceedings of the International Conference on Control and Automation Systems 2008 (ICCAS 2008), Seoul, Korea, October (2008) No.TEP-37.
• H. Matsumoto, M. Matsuoka, and K. Noda, Chemistry Letters.38(2009)216-217.
• K. Yokota, S. Seikyu, M. Tagawa, and N. Ohmae, Proceedings of the 9th International Symposium on Material in a Space Environment, Noordwijk, Netherlands, June (2003), 265-272.
• G. Z. Sauerbrey, Z. Phys.155(1959)206.

タイトルに関連する用語 (4件)： 重合体 ,  水晶振動子微量天秤法 ,  活性酸素 ,  モニタ