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J-GLOBAL ID：200902276222933037   整理番号：04A0772870

超小型レーザー干渉計を使った流体抵抗流れセンサ

Drag force flow sensor using micro laser interferometer
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著者 (4件)：
YANG Z

YANG Z について

(Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst., Tokyo, JPN)

Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst., Tokyo, JPN について

, 
MATSUMOTO S

MATSUMOTO S について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN について

, 
TSAUR J

TSAUR J について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN について

, 
MAEDA R

MAEDA R について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN について


資料名：
Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)

Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems について


巻： 21st  ページ： 291-294  発行年： 2004年10月14日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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標記は双方向の流れセンサで,MEMS技術で作製した感知板に掛...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*流体流

流体流 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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流体抵抗

流体抵抗 について


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分類 (1件)：
分類
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流体の実験・試験・測定方法及び装置 
(BC01020K)

流体の実験・試験・測定方法及び装置 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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レーザー干渉計

レーザー干渉計 について

, 
流体抵抗

流体抵抗 について

, 
流れセンサ

流れセンサ について


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