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J-GLOBAL ID：200902276315740492   整理番号：08A0727595

多光束レーザー干渉露光法による3次元フォトニック結晶の作製と評価

著者 (5件)： 神成謙太 (北大 電子科研) ,  JUODKAZIS Saulius (北大 電子科研) ,  MIZEIKIS Vygantas (北大 電子科研) ,  上野貢生 (北大 電子科研) ,  三澤弘明 (北大 電子科研)
資料名： 高分子学会北海道支部研究発表会講演要旨集
巻： 42nd  ページ： 17  発行年： 2008年01月29日 
JST資料番号： L2306A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *多重露光 ,  *フォトニックバンドギャップ ,  *周期構造 ,  集光 ,  フォトレジスト ,  *パターン形成 ,  フェムト秒 ,  光束 ,  多光子遷移 ,  *レーザリソグラフィー ,  *光干渉法
準シソーラス用語： パターンニング

分類 (2件)： 量子光学一般  (BD04010X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光束 ,  レーザー ,  干渉露光法 ,  3次元フォトニック結晶 ,  作製 ,  評価