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J-GLOBAL ID：200902276980477891   整理番号：08A1181076

レーザを用いた加工技術 フェムト秒レーザによる超硬の微細加工の試み

著者 (2件)： 伊藤義郎 (長岡技科大) ,  田辺里枝 (長岡技科大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 19  号： 12  ページ： 9-13  発行年： 2008年12月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザによる超硬材料の微細加工について述べた。この微細加工では,試料として微粒超硬材のKD-20を用いた。フェムト秒レーザとナノ秒レーザの比較を行った。フェムト秒レーザによる溝加工の例では,ナノ秒レーザ加工に比べて,溝の深さは浅いが,熱影響が格段に少ない加工部が得られた。その他,フェムト秒レーザによる方形凹形状加工と円形穴加工の例を紹介した。さらに,フェムト秒レーザ加工における走査経路と走査速度の影響を調べた結果を紹介した。その結果,パルスエネルギーを小さくして,高い走査速度で加工することにより,加工速度は低下するが,形状精度が高くなり,面粗度が小さくなることがわかった。

シソーラス用語： パルスレーザ ,  微細加工 ,  *レーザ加工 ,  工具鋼 ,  超硬材料 ,  超硬工具 ,  溝加工 ,  穴あけ ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： 穴加工

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  フェムト秒レーザ ,  微細加工 ,  試み