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J-GLOBAL ID：200902277131232857   整理番号：04A0068444

単一フェムト秒レーザパルスにより発生させたナノサイズの中空のバンプアレイ

Nano-Sized Hollow Bump Array Generated by Single Femtosecond Laser Pulse

著者 (3件)： NAKATA Y (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  OKADA T (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  MAEDA M (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 42  号： 12A  ページ： L1452-L1454  発行年： 2003年12月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 四干渉のfsのTi:サファイアレーザの単一ショットにより誘起...

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,...
準シソーラス用語： 平面アレイ ,...

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分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (12件)：

• 1) H. W. Kroto, J. R. Heath, S. C. O’Brien, R. F. Curl and R. E. Smalley: Nature 318 (1985) 162.
• 2) S. Iijima: Nature 354 (1991) 56.
• 3) L. T. Canham: Appl. Phys. Lett. 57 (1990) 1046.
• 4) K. O. Hill, Y. Fujii, D. C. Johnson and B. S. Kawasaki: Appl. Phys. Lett. 32 (1978) 647.
• 5) C. V. Shank, J. E. Bjorkholm and H. Kogelnik: Appl. Phys. Lett. 18 (1971) 395.

タイトルに関連する用語 (5件)： フェムト秒レーザパルス ,  ナノサイズ ,  中空 ,  バンプ ,  アレイ