文献

J-GLOBAL ID：200902277305280511   整理番号：05A0876450

CMOSミクロ電気機械系指紋センサにおける微小機械信号用の力センシング法

Force-Sensing Scheme for Small Mechanical Signals in Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical System Fingerprint Sensor

著者 (7件)： SATO Norio (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  MORIMURA Hiroki (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  SHIGEMATSU Satoshi (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  YANO Masaki (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  KUDOU Kazuhisa (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  KAMEI Toshikazu (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  MACHIDA Katsuyuki (NTT Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 9A  ページ： 6481-6489  発行年： 2005年09月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 指表面のリッジが作る力を検出する微小ピクセル用に,ミクロ電気...

シソーラス用語： *CMOS構造 ,...
準シソーラス用語： 力センサ

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分類 (3件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  パターン認識  (JE07000S) ,  トランジスタ  (NC03070N)

引用文献 (13件)：

• 1) H.-L. Chau and K. D. Wise: IEEE Trans. Electron Devices 34 (1987) 850.
• 2) J. Marek and M. Illing: Tech. Dig. IEDM, San Francisco, 2000, p. 3.
• 3) K. H.-L. Chau, S. R. Lewis, Y. Zhao, R. T. Howe, S. F. Bart and R. G. Marcheselli: Sens. Actuators A 54 (1996) 472.
• 4) S. Guo, J. Guo and W. H. Ko: Sens. Actuators 80 (2002) 224.
• 5) R. J. DeSouza and K. D. Wise: Transducers ’97, Chicago, 1997, p. 1473.

タイトルに関連する用語 (6件)： CMOS ,  電気機械 ,  指紋センサ ,  微小機械 ,  力 ,  センシング