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J-GLOBAL ID：200902277605315996   整理番号：07A0053662

内挿型絶対差分照合法を用いたLSIウェハ欠陥抽出

著者 (6件)： 竹田健祐 (北大 大学院情報科学研究科) ,  金子俊一 (北大 大学院情報科学研究科) ,  田中孝之 (北大 大学院情報科学研究科) ,  酒井薫 (日立 生産技研) ,  前田俊二 (日立 生産技研) ,  中川泰夫 (日立 研究開発本部)
資料名： ViEWビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集  (ViEW)
巻： 2005  ページ： 20-25  発行年： 2005年12月08日 
JST資料番号： L4705B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： LSI【IC】 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 内挿 ,  差分 ,  LSI ,  ウェハ ,  欠陥