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J-GLOBAL ID：200902278503928337   整理番号：03A0659822

曲面への電子ビーム描画による光学素子用金型の作製技術

著者 (4件)： 古田和三 (コニカテクノロジーセンター 基盤技研) ,  森川雅弘 (コニカテクノロジーセンター 基盤技研) ,  増田修 (コニカテクノロジーセンター 基盤技研) ,  茜部祐一 (コニカテクノロジーセンター 基盤技研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 64th  号： 2  ページ： 684  発行年： 2003年08月30日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 曲面 ,...
準シソーラス用語： 描画

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分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 曲面 ,  電子ビーム描画 ,  光学素子 ,  作製技術