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J-GLOBAL ID：200902279077622620   整理番号：06A0339471

バルク・ゲルマニウムから作製した200mmゲルマニウムオンインシュレータ(GeOI)基板の製作と特性

Fabrication and characterisation of 200mm germanium-on-insulator (GeOI) substrates made from bulk germanium

著者 (15件)： DEGUET C. (CEA/GRE, Grenoble, FRA) ,  SANCHEZ L. (CEA/GRE, Grenoble, FRA) ,  AKATSU T. (SOITEC SA, Bernin, FRA) ,  ALLIBERT F. (SOITEC SA, Bernin, FRA) ,  DECHAMP J. (CEA/GRE, Grenoble, FRA) ,  MADEIRA F. (CEA/GRE, Grenoble, FRA) ,  MAZEN F. (CEA/GRE, Grenoble, FRA) ,  TAUZIN A. (CEA/GRE, Grenoble, FRA) ,  LOUP V. (CEA/GRE, Grenoble, FRA) ,  RICHTARCH C. (SOITEC SA, Bernin, FRA) ,  MERCIER D. (SOITEC SA, Bernin, FRA) ,  SIGNAMARCHEIX T. (SOITEC SA, Bernin, FRA) ,  LETERTRE F. (SOITEC SA, Bernin, FRA) ,  DEPUYDT B. (UMICORE, Olen, BEL) ,  KERNEVEZ N. (CEA/GRE, Grenoble, FRA)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 42  号： 7  ページ： 415-417  発行年： 2006年03月30日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Smart Cut^TM技術を用いて,G...

シソーラス用語： ゲルマニウム ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： バルク ,  ゲルマニウム ,  作製 ,  製作