文献

J-GLOBAL ID：200902279167124301   整理番号：08A0357520

SIMSの微小部深さ方向分析におけるドーパント濃度決定法

著者 (2件)： 関節子 (拓殖大) ,  田村一二三 (拓殖大 理工学総合研)
資料名： 拓殖大学理工学研究報告  (Bulletin of Science and Engineering, Takushoku University)
巻： 10  号： 1  ページ： 41-46  発行年： 2007年10月30日 
JST資料番号： L0516B  ISSN： 0919-8253  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SIMS(二次イオン分析法)における,微小域での深さ方向分析における化学成分濃度測定方法を検討した。平坦な表面をもつ試料を使用するよりも,分析試料表面上に出っ張り部分(ミニチップ)を残す加工をして,SIMS分析をすることで,表面からの深さ方向に対する分析能力が向上されて,正確に深さ濃度分布を測定することが可能になった。

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  *ミクロドメイン ,  ドーパント ,  *濃度測定 ,  表面 ,  機器分析 ,  *濃度分布 ,  *深さ
準シソーラス用語： SIMS ,  微小ドメイン ,  濃度決定

分類 (1件)： その他の構造決定法  (BK01070L)

タイトルに関連する用語 (6件)： SIMS ,  微小 ,  深さ方向 ,  分析 ,  ドーパント ,  濃度決定