ダイヤモンドチップを有する原子間力顕微鏡を用いたシリコン表面のナノメータ加工

文献

J-GLOBAL ID：200902280203562092 整理番号：06A0640334

Nanomachining of Silicon Surface Using Atomic Force Microscope With Diamond Tip

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著者 (9件)：

KAWASEGI Noritaka

KAWASEGI Noritaka について

(Univ. Toyama, Toyama, JPN)