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J-GLOBAL ID:200902280203562092   整理番号:06A0640334

ダイヤモンドチップを有する原子間力顕微鏡を用いたシリコン表面のナノメータ加工

Nanomachining of Silicon Surface Using Atomic Force Microscope With Diamond Tip
著者 (9件):
資料名:
巻: 128  号:ページ: 723-729  発行年: 2006年08月 
JST資料番号: C0657A  ISSN: 1087-1357  CODEN: JMSEFK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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探針支持梁の剛性を強くした原子間力顕微鏡(AFM)で単結晶シ...
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固体デバイス製造技術一般 
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