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J-GLOBAL ID：200902281063020509   整理番号：04A0248910

1μmイットリウムアルミニウムガーネットレーザと透光性粘着テープによるガラスの亀裂なし高アスペクト比穴あけ

Crack-Free High-Aspect-Ratio Drilling of Glasses by 1 μm Yttrium Aluminum Garnet Laser and Translucent Adhesive Tape

著者 (5件)： BAASANDASH C (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  YABE T (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  MAEHARA J (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  YAMAGUCHI M (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  WAKATSUKI H (Asahi Glass Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 43  号： 2A  ページ： L133-L135  発行年： 2004年02月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 波長1μm,パルス幅5ns,30~630mJ/パルスのYAG...

シソーラス用語： *レーザ穴あけ ,...

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分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

引用文献 (6件)：

• 1) D. Bäuegle: Laser Processing and Chemistry (Springer, Berlin, Heidelberg, 1996) 1st ed.
• 2) H. Varel, D. Ashkenasi, A. Rosenfeld, M. Wahmer and E. B. Campbell: Appl. Phys. A 65 (1997) 367.
• 3) T. Koyama and K. Tsunetomo: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) L244.
• 4) J. Zhang, K. Sugioka and K. Midorikawa: Appl. Phys. A 67 (1998) 545.
• 5) T. Yabe and T. Aoki: Comput. Phys. Commun. 66 (1991) 219.

タイトルに関連する用語 (7件)： イットリウムアルミニウムガーネットレーザ ,  透光性 ,  粘着テープ ,  ガラス ,  亀裂 ,  高アスペクト比 ,  穴あけ