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J-GLOBAL ID:200902281807671538   整理番号:06A0693628

三種類の異なる膜構造を持つマイクロ-熱電型水素センサ

Micro-Thermoelectric Hydrogen Sensor of Three Different Membrane Structures
著者 (6件):
資料名:
巻: 45  号: 8A  ページ: 6186-6191  発行年: 2006年08月15日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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SiGe薄膜の熱電効果とPt触媒によって誘導される水素の発熱...
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分類 (2件):
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その他の固体デバイス  ,  その他の物理分析 
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