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J-GLOBAL ID:200902282639893283   整理番号:08A0757275

光学薄膜 高エネルギーレーザー用光学薄膜

著者 (3件):
資料名:
号: 345  ページ: 865-869  発行年: 2008年07月25日 
JST資料番号: Z0994A  ISSN: 0911-5943  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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最近の高出力レーザ用光学薄膜の進歩を紹介した。著者らは対角1m級の大型光学素子に適したイオンアシスト蒸着法を用い,膜応力を制御しながら真空中で使用できる反射鏡や回折格子基板の製作技術を確立した。これらの技術は一般の高出力レーザ用光学素子にも適用できる。特に線膨張係数の小さい石英基板に回折格子を形成することは,超短パルスレーザの安定化に寄与する。
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