文献

J-GLOBAL ID：200902282641669870   整理番号：05A0996497

エーロゾル堆積により作製したPb(Zr,Ti)O₃厚膜を用いてLam波の分解能で駆動する高速光マイクロスキャナ

High-Speed Optical Microscanner Driven with Resonation of Lam Waves Using Pb(Zr,Ti)O₃ Thick Films Formed by Aerosol Deposition

著者 (4件)： AKEDO Jun (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  LEBEDEV Maxim (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SATO Harumichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  PARK Jaehyuk (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 9B  ページ： 7072-7077  発行年： 2005年09月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機械加工により作製した金属スキャナ構造上にAD法により圧電材...

シソーラス用語： 光走査 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： その他の光デバイス  (BD06060O) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (18件)：

• 1) M. Bayer: Proc. SPIE 4711 (2002) 4557.
• 2) H. Urey: Proc. SPIE 4773 (2002) 27.
• 3) H. Schenk, P. Durr, D. Kunze, H. Lakner and H. Kuck: Proc. IEEE 13th Annual Int. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2000) p. 473.
• 4) D. Dickensheets and G. KiNo: Proc. SPIE 3009 (1997) 141.
• 5) K. Yamada and T. Kuriyama: Proc. of MEMS 98 (1998) p. 110.

タイトルに関連する用語 (10件)： エーロゾル ,  堆積 ,  作製 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  厚膜 ,  分解能 ,  スキャナ