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J-GLOBAL ID：200902282869352818   整理番号：06A0605040

シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報)-任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製-

Development and Its Applications of Diamond Array Tool Using Silicon Mold (2nd Report)-Fabrication of Machining Cantilever with Arbitrary Tip Shape-

著者 (10件)： 川堰宣隆 (富山大 大学院理工学研究科) ,  深瀬達也 (富山大 大学院理工学研究科) ,  高野登 (富山大 工) ,  森田昇 (富山大 工) ,  山田茂 (富山大 工) ,  大山達雄 (富山大 工) ,  神田一隆 (不二越) ,  高野茂人 (不二越) ,  小幡勤 (富山県工技セ) ,  芦田極 (産業技術総合研)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 72  号： 8  ページ： 1025-1029  発行年： 2006年08月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究ではダイヤモンドアレイ工具を応用したトライボナノリソグ...

シソーラス用語： *ダイヤモンド工具 ,...
準シソーラス用語： *カンチレバー

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分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (23件)：

• 1) G. Binnig, H. Rohrer, Ch. Gerber and E. Weibel: Surface studies by scanning tunneling microscopy, Phys. Rev. Lett., 49 (1982) 57.
• 2) G. Binnig, C. F. Quate and Ch. Gerber: Atomic force microscope, Phys. Rev. Lett., 56 (1986) 930.
• 3) D. M. Eigler and E. K. Schweizer: Positioning single atoms with a scanning tunneling microscope, Nature, 344 (1990) 524.
• 4) R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. Hong and C. A. Mirkin: "Dip-pen" nanolithography, Science, 283 (1999) 661.
• 5) K. Ashida, N. Morita and Y. Yoshida: Study on nanomachining process using mechanism of a friction force microscope, JSME Int. J., Ser. C, 44 (2001) 244.

タイトルに関連する用語 (10件)： シリコン ,  モールド ,  ダイヤモンド ,  アレイ ,  工具 ,  開発 ,  応用 ,  切れ刃 ,  カンチレバー ,  作製