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J-GLOBAL ID：200902283394872257   整理番号：03A0561726

マグネトロン型ラジオ周波数プラズマ制御による垂直配向炭素ナノチューブの成長

Magnetron-type radio-frequency plasma control yielding vertically well-aligned carbon nanotube growth

著者 (7件)： HIRATA T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SATAKE N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  JEONG G-H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KATO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HATAKEYAMA R (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MOTOMIYA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TOHJI K (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 83  号： 6  ページ： 1119-1121  発行年： 2003年08月11日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノチューブ形成と成長へのプラズマパラメータの影響を理解する...

シソーラス用語： *マグネトロン ,...

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分類 (3件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： マグネトロン ,  ラジオ ,  プラズマ制御 ,  垂直配向 ,  炭素ナノチューブ ,  成長