Nd:YAGパルスレーザによる水晶とシリコンの局所的なレーザ支援共晶接合

文献

J-GLOBAL ID：200902283689232403 整理番号：05A0478870

Localized laser assisted eutectic bonding of quartz and silicon by Nd:YAG pulsed-laser

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=05A0478870&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0478870&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0345C") }}

著者 (2件)： ,
資料名：
巻： A120 号： 2 ページ： 550-561 発行年： 2005年05月17日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

80μm厚さの単結晶水晶チップをシリコン基板に接合する標記技...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0478870&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0345C") }}

固体デバイス製造技術一般 , レーザの応用

, , , , , , ,

前のページに戻る