文献

J-GLOBAL ID：200902284302849137   整理番号：07A0204326

熱系のフィードバック型モデルと非干渉制御への応用

A New Model with Feedback Structure for Thermal Process and its Application to Decoupling Control

著者 (3件)： 松永信智 (熊本大 大学院自然科学研究科) ,  南野郁夫 (オムロン) ,  川路茂保 (熊本大 大学院自然科学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 127  号： 3  ページ： 373-379  発行年： 2007年03月01日 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フラットパネルディスプレイや半導体,精密成形などの最先端製造...

シソーラス用語： *温度制御 ,...

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分類 (1件)： システム設計・解析  (IA02030D)

引用文献 (15件)：

• KAILATH, T. Control for Advanced Semiconductor Device Manufacturing : A Case History, Control System Applications. 1999
• ASTROM, K. J. Advanced PID Control, ISA-The Instrumentation. 2005
• ASTROM, K. J. PID Controllers : Theory, Design and Tuning. 1995
• SEBORG, D. E. Process Dynamics and Control. 2004
• 須田信英. PID制御. 1992

タイトルに関連する用語 (4件)： フィードバック ,  モデル ,  非干渉制御 ,  応用