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J-GLOBAL ID：200902284803764662   整理番号：05A0945720

フェムト秒レーザー加工における加工穴深度のリアルタイムモニタリング

Real-Time Monitoring of Processed Hole Depth under Femtosecond Laser Processing

著者 (4件)： 神谷真好 (光科学技術研究振興財団) ,  神谷真好 (静岡県浜松工技セ) ,  青島紳一郎 (光科学技術研究振興財団) ,  青島紳一郎 (浜松ホトニクス)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 33  号： 10  ページ： 685-689  発行年： 2005年10月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザ加工における穴深度を連続して測定できる実時間...

シソーラス用語： *監視装置 ,...

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分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (8件)：

• 熊谷寛. 応用物理. 1998, 67, 1051
• FURUSAWA, K. J. Appl. Phys. 2000, 87, 1604
• OSTENDORF, A. Rev. Laser Eng. 2002, 30, 221
• 丹野直弘. 光学. 1999, 28, 116
• FUJIMOTO, J. G. Rev. Laser Eng. 2003, 31, 635

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザー加工 ,  加工穴 ,  深度 ,  リアルタイムモニタリング