LIGA工程により実現したPZT微細ロッド圧電複合体

文献

J-GLOBAL ID：200902286145091147 整理番号：04A0757503

Piezoelectric Composites of Fine PZT Rods Realized by LIGA Process

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資料名：
巻： 16 号： 4 ページ： 199-210 発行年： 2004年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

1-3圧電複合体を作製するためのセラミックの微細加工プロセス...

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音響変換器,その他の機器 , 圧電デバイス

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