融解しきい付近でのKrFエキシマレーザパルスによって照射されたCdTe結晶の表面状態

文献

J-GLOBAL ID：200902286609569614 整理番号：03A0650857

Surface state of CdTe crystals irradiated by KrF excimer laser pulses near the melting threshold.

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巻： 542 号： 1/2 ページ： 142-149 発行年： 2003年09月10日
JST資料番号： C0129B ISSN： 0039-6028 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

レーザ加工はセンサ技術やマイクロエレクトロニクス,特に半導体...

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一成分系の相平衡・状態図 , 半導体の表面構造

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