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J-GLOBAL ID：200902286757729159   整理番号：08A0969997

旋回流を用いた非接触搬送系に関する研究(ボルテックスチャック内の流速測定)

Research on a Non-contact Handling System using Swirling Flow (Velocity Distribution in a Vortex Chuck)

著者 (5件)： 梅鉢茉紗子 (信州大 大学院) ,  飯尾昭一郎 (信州大) ,  LI Xin (東京工大) ,  香川利春 (東京工大) ,  池田敏彦 (信州大)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2008  号： Vol.2  ページ： 137-138  発行年： 2008年08月02日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ボルテックスチャックの性能向上を目指し,ボルテックスチャック内の流体挙動を明らかにすることを目的とする。PTVによりチャック内の流速分布を測定した。旋回速度は半径方向に指数関数状に増加しており,旋回流が剛体渦ではないことがわかった。渦室出口の隙間高さを変化させ,隙間が大きい場合には旋回流の中心位置が時間経過に伴い変動することがわかった。また,圧力分布から求めた吸引力が最大となる隙間において,旋回流の中心位置が渦室の高さ方向で異なることを明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *旋回流 ,  *粒子追跡流速測定 ,  *流速分布 ,  ウエハ【IC】 ,  渦室 ,  圧力分布 ,  流れ分布
準シソーラス用語： *空気チャック ,  搬送システム ,  *非接触運搬

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 旋回流 ,  非接触搬送 ,  研究 ,  流速測定